Гексафторэтан
| Гексафторэтан | |
|---|---|
| | |
| Общие | |
| Систематическое наименование |
гексафторэтан |
| Традиционные названия | шестифтористый углерод, перфторэтан |
| Хим. формула | C2F6 |
| Внешний вид | Бесцветный газ |
| Физические свойства | |
| Состояние | газ |
| Молярная масса | 138,010 ± 0,007 г/моль |
| Плотность | 0,005734 г/см³ |
| Энергия ионизации | 13,4 эВ[1] |
| Термические свойства | |
| Температура | |
| • плавления | −100,6 °C |
| • кипения | −78,2 °C |
| Химические свойства | |
| Растворимость | |
| • в воде | 0,0015 г/100 мл |
| Структура | |
| Дипольный момент | 0 Кл·м[1] |
| Классификация | |
| Рег. номер CAS | 76-16-4 |
| PubChem | 6431 |
| Рег. номер EINECS | 200-939-8 |
| SMILES | |
| InChI | |
| RTECS | KI4110000 |
| ChEBI | 32905 |
| ChemSpider | 6191 |
| Безопасность | |
| NFPA 704 | |
| Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное. | |
| Медиафайлы на Викискладе | |
Гексафторэта́н (перфторэта́н) — бинарное химическое соединение углерода и фтора из семейства перфторуглеродов с химической формулой C2F6. Полностью фторзамещённый аналог этана. При нормальных условиях — тяжёлый бесцветный газ, без запаха, относительно инертен. Нетоксичен, в высоких концентрациях может вызывать удушье из-за нехватки кислорода.
Физические свойства
Плотность 5,734 кг/м3 при 24 °C (почти в пять раз тяжелее воздуха). Температура плавления −100,6 °C, температура кипения = −78,2 °C. Практически нерастворим в воде, слегка растворим в метаноле.
Химические свойства
Химически инертен.
Применение
Гексафторэтан используется в микроэлектронике в качестве универсального травления в производстве полупроводников. Его можно использовать для селекционного травления металлических силицидов и оксидов при обработке металлических подложек, а также для травления диоксида кремния. Применяется также в качестве хладагента в смеси с трифторметаном[2].
Воздействие на природу
Из-за высокой энергии связи C-F, гексафторэтан почти инертен и, таким образом, действует как стабильный и долговечный парниковый газ с продолжительностью существования в атмосфере в 10 000 лет (другие источники: 500 лет)[3].
Гексафторэтан не существовал в значительных количествах в окружающей среде до эпохи промышленного производства. В начале XXI века атмосферная концентрация гексафторэтана достигла 3 частей на триллион[4].
Примечания
- ↑ 1 2 David R. Lide, Jr. Basic laboratory and industrial chemicals (англ.): A CRC quick reference handbook — CRC Press, 1993. — ISBN 978-0-8493-4498-5
- ↑ PubChem. Hexafluoroethane (англ.). pubchem.ncbi.nlm.nih.gov. Дата обращения: 15 сентября 2025. Архивировано 21 апреля 2025 года.
- ↑ Wexler P. The National Library of Medicine's TOXNET system and other global toxicology information networks (англ.) // Toxicology Letters. — 2016. — Vol. 259. — P. S37. — ISSN 0378-4274. — doi:10.1016/j.toxlet.2016.07.667.
- ↑ Zhang J.-X. Original Frame of Organizational Model from the Chinese Traditional Philosophy (англ.) // Chinese Business Review. — 2007. — Vol. 06, iss. 02. — ISSN 1537-1506. — doi:10.17265/1537-1506/2007.02.012.